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硅片再生
澳門申博提供全方位的硅片再生服務:從技術性先進低顆粒度,超平再生,到最簡單的脫除與拋光,且有干凈拋光表面之一般級晶圓片。 經過澳門申博先進技術再生處理過的晶圓片,最小可達到88奈米顆粒大小, 以及0.13微米的局部平整度。
 
使用最先進的再生設備,澳門申博能將小至3微米厚的硅殘留再生利用,并可達到業界最高的利用率。
 
硅片直徑從100mm, 150mm, 200mm到300mm.
 
硅片再生:時將所有薄膜從硅片上剝除,并做化學清潔;在剝除清潔后,可重新積層薄膜。
剝除與輕微拋光:將所有薄膜從硅片上剝除,并以輕微拋光移除表面的損壞、不平整、以及薄膜殘留物。
顆粒再生:澳門申博可提供高質量的顆粒再生,最小顆粒可達88奈米大小。
平整度:由于使用最頂尖的設備,澳門申博處理過的再生晶圓具有非常高的平整度。
·    澳門申博再生晶圓片有高度局部平整需求,與局部平整度,因此可供光刻應用。
·    可輕易達到<.13微米的局部平整度

澳門申博合格的顆粒再生處理技術, 可將200毫米至300毫米直徑的晶圓片上的瑕庛, 分別減小至80奈米與45奈米。并可提供提供每片晶圓片100%量測數據,成品率可達95%以上。并可根據您的預算需求進行再生處理

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